BSC 鍵合材料旋轉塗佈機

4 / 6 / 8 Inch 單片晶圓Coater

裝置為單晶圓旋轉模式鍵合材料塗布設備， 主要應用為利用晶圓旋轉的離心力，將鍵合材料均勻的塗布在將晶圓表面上，達到特定塗布層膜後的工藝用途。